EES Suite 装置エンジニアリング

EES Suite(装置エンジニアリングシステム)とは


* EES Suiteは 韓国 Bistel社の製品です。

半導体/液晶/FPD業界は、装置の稼働率改善~工場全体での生産性向上を、常に目指し続ています。
装置/人/プロセスの連携を統合的に改善し、装置エンジニアリングの能力を最大限に発揮させる環境を構築することで、
装置稼動率向上・生産性向上を実現する統合フレームワークとソリューションです。

図


機能

eMPA
Monitoring Performance Analyzer
装置の稼動状況を分析するアプリケーションです。
装置状態の詳細な「見える化」により、チャンバーレベルの処理時間、
ウェハー移動のロス時間等を解析が可能となり、
稼動率の向上や歩留り解析等の効率化が期待できます。
ePPM
Predictive & Preventive Maintenance
装置の総合的なメンテナンス効率化を目的としています。
装置メンテナンス・フローの標準化、共有化による効率化や
メンテナンス結果の判定を自動取得された品質データにて
行うことも可能です。
eDCP
Data Collection Planner
アプリケーション毎の同じデータを共有し、
容易なデータモデリングやデータ管理の一元化を実現します。
本機能により、システム負荷、維持費、
開発費の削減の効果が期待できます。
eR2R
Run to Run Control
装置データを使い、品質データ(膜厚、線幅等)のモデルを作成し、
品質データにズレが発生した場合、そのモデルから補正値を算出し、
装置に補正値を送る仕組みです。
モデルはシミュレーション機能にて効果を確認後、工場展開が可能です。
eVMS
enhanced Virtual Metrology System
プロセス情報を用いて計測値を予測するシステムです。
例えば、計測データのFeedbackが必要なコントロールにて、
計測せずに計測データを予測し、Feedbackします。
FDCやR2Rシステムで計測 Data代わりに活用でき、計測コストの削減を実現します。
BMS
BISTel Message Service
既存データの通信Protocolを改善し、様々な外部システムと
高信頼性を用いたデータ通信を可能にします。
eRMS
Recipe Management System
通常装置のレシピ本体(レシピ・ボディ)は、個々の装置に保存されてますが、装置レシピを一元管理することにより、不正レシピによるトラブルの回避、レシピの再利用、複数装置への一括配布が可能となります。
eSPC
Statistical Process Control
EESデータに対し、SPCにより判定を行い、異常を発見・通知・分析することにより、不具合を発生させない仕組みを作ることができます。
eR2R・eFDCの標準SPC機能として総合的なAPCソリューションを提供します。
eFDC
Fault Detection & Classification
単変量、多変量によるリアルタイム異常検知が可能です。
また機差解析、チャート分析等のオフライン解析機能も充実。
課題とされるモデリング工数の削減として、レシピ独立モデリング、
Pattern Matching、自動モデル機能も実装しています。
eCRS
Central Reporting System
リアルタイム、或いはオフライン環境の下において、様々なEESレポート機能を統合し、一元化することにより、迅速なレポート運用が可能です。
本機能により、レポート作業におけるフローの標準化や共有化による作業効率化が図れます。
eCIS
Central Interdiction System
禁則処理の一元化により、禁則ミス、ヒューマンエラー、
異状検知モデリングの工数低減がご期待できます。


特徴

  • 装置情報を収集し、フレームワークにてデータの一元管理が可能
  • 実績のあるアプリケーション実装で、導入直後から効果発揮
  • 既存アプリケーションをフレームワーク上に実装可能
  • 各種装置インターフェースに対応可能


導入効果

  • 装置稼働率、工場全体の生産能力向上
  • 装置状態の見える化による信頼性/可用性向上
  • 装置メンテナンス効率化(MTTR短縮、MTBF最大化)
  • NPW(Non-Production Wafer)や再生/廃棄ウェーハ削減


システム構築

図

EES framework ご利用環境

EES Server Operating System: Multiplatform(推奨;HP-UX)
Database: Oracle, Oracle9i or Higher
JVM1.4.1 or Higher
WEB Server Operating System: Windows 2003 Server
.NET Framework 1.1 or 2.0, IIS
Client Windows XP
Internet Explorer 6.0 or Higher

メールアドレス