ミニマルファブ

ミニマルファブ構想の実現に向けて

当社は、次世代の半導体生産システムである
ミニマルファブ構想の実現に向けて、
各種ITソリューションの提供を目指し活動中です。
弊社ITソリューションの第1弾として、
レシピ管理ツール(μRAPIX)を製品化いたしました。

ミニマルファブ構想の実現に向けて

 


ミニマルファブとは

ミニマルファブとは、ハーフインチウェーハを製造基板単位とする革新的な
半導体製造生産システムであり、弊社は
<一般社団法人 ミニマルファブ推進機構>
の正会員20社の内の1社として当社が長年培ってきた「計測」「制御」「情報」の
3つのノウハウに基づくソリューションビジネス、特に情報管理に関する
ソリューションビジネスに関係して、新しい事業領域の開拓を進めるとともに、
多品種少量で利益を得るという観点において、ものづくり立国としての
国家的ニーズに貢献してまいります。 

〈ミニマルファブ推進機構 HP〉
http://www.minimalfab.com/
〈ミニマルIoTデバイス実証ラボ HP〉
https://unit.aist.go.jp/kyushu/minimallab/index.html

ミニマルファブ

 


μRAPIXとは

ミニマル レシピ管理システム
Minimalfab Rapid And Productivity Improvement system
ミニマルファブ向け生産性向上システム
概要

生産に必要なレシピを「μRAPIX」で簡単に
作成し、装置へ登録することができます!

特長
  • インポート/ エクスポート機能で装置レシピ/デバイスレシピを簡単に他のPC や装置で利用可能!
  • デバイスレシピは帳票として出力可能!

 

装置情報及び装置レシピを設定

 

デバイスレシピを設定
レシピ情報を装置へ登録

 

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