仮想計測システム（Virtual Metrology System）

物理的な計測装置を使用せず、製造工程中に発生するさまざまなセンサーデータをもとに、工程の品質特性を予測するためのシステムです。主に半導体、ディスプレイ、精密製造業界で活用されており、センサーデータとAIモデルを用いてリアルタイムで工程品質を推定します。
　

　
InsightworksVMは、製造工程で取得されるセンサーデータを活用し、物理的な計測装置を使わず製品品質を予測する、AIベースの仮想計測システムです。
高度な装置稼働データ（FDC）、プロセス制御(APC)、統計的プロセス制御(SPC)との統合により、工程内の変動を低減し、全体的な生産性を向上させます。
　

　
BRIQUE Analyticsは、統計手法や機械学習アルゴリズムを統合的に管理し、リアルタイムでの実行・検証を可能にします。さらに、他システムとの即時API連携も可能な高性能分析プラットフォームです。
工程レシピ実行時に、Input（電流・電圧・温度・ガスなど）、Process（条件、ML、分析）、Output(API)（分析結果）をリアルタイムに実行し、装置安定稼働に貢献します。