半導体装置対応セルコン『ECS Lite』
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スマート工場ソリューション

Excelからスマート化の土台を築く！
半導体装置対応セル・コントローラー

装置の設定もPCに取り込み可能、手元の最新管理で更新漏れも防ぐ

難しいプログラムの書き換えをすることなく、
Excelファイルで作られた設定ファイルの編集だけで
装置と通信を確立できる
半導体装置対応セル・コントローラーです。
製造現場のプロセスデータや、品質管理に欠かせない
トレースデータも簡単に収集できるようになり、
業務の効率化と見える化を強力にサポートします。



ECS Liteシステム構成図

※SECS通信：SEMI E5 (SECS-II) および SEMI E37 (HSMS-SS) 準拠
※将来的にMESとの接続を想定しています

　

ECS Liteが選ばれる３つの理由