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装置を繋ぐ　～半導体装置のオンライン化、お任せください！

ニュース・お知らせ2024-07-25

このようなお悩み・ご希望はありませんか？

半導体装置のオンライン化をサポートします。

～装置Onlineとは～
製造装置と上位システムを通信接続させる事で、人操作を
システム化する為の業務です。作業ミス防止や高効率化、
自動化（無人化）を実現するには欠かせない重要な業務です。

半導体装置オンライン化イメージ

ECS(EquipmentControlSystem)概要
　MES InterfaceApp部
　　・MESと装置の間に位置し、レシピ送信～実績取得などのシナリオをコントロール
　ECS Framework部
　　・セルコントローラの心臓部として内部メッセージを管理
　EQApp部
　　・装置毎にレシピ送信～実績取得などのシナリオをコントロール
　（PC一台にてMAX8台の装置の管理が可能）
　　・IPCViewer(SECSドライバー)使用